מבודדי קרמיקה מכורסמים בעלי 5 צירים עבור ציוד מוליכים למחצה וחדרים נקיים

בעולם עתיר ההימור של ייצור מוליכים למחצה וסביבות חדרים נקיים, כל רכיב חייב לספק ביצועים ללא רבב.PFT, אנו מתמחים ביצירהמבודדי קרמיקה 5 צירים מחורציםשמגדירים מחדש דיוק ואמינות. עם למעלה מ-20+עם שנות ניסיון של שנים, הפתרונות שלנו מתוכננים לעמוד בדרישות המחמירות של ציוד מוליכים למחצה, תוך הבטחת יציבות תרמית, בידוד חשמלי ותפעול ללא זיהום בסביבות רגישות במיוחד.

למה לבחור במבודדי הקרמיקה המחורצים שלנו בעלי 5 צירים?

1.יכולות ייצור מתקדמות

המתקן שלנו מצויד במכונות כרסום CNC 5 צירים חדישות, המאפשרים דיוק ברמת מיקרון בעיצוב קרמיקה מתקדמת כמו אלומינה (Al₂O₃), סיליקון קרביד (SiC) ואלומיניום ניטריד (AlN). בניגוד לשיטות קונבנציונליות, עיבוד שבבי בעל 5 צירים מאפשר גיאומטריות מורכבות - קריטיות עבור רכיבים כמו פיני הרמה של פרוסות סיליקון, חלקי תא שיקוע ומבודדים עמידים בפני פלזמה.

תכונות עיקריות:

•דִיוּק:סובלנות של ±0.005 מ"מ לשילוב חלק בכלי ליתוגרפיה של ASML או מערכות איכול של Lam Research.
•רבגוניות חומרית:מותאם במיוחד עבור אלומינה 99.8%, SiC בעל טוהר גבוה וקרמיקה מתקדמת אחרת.
•גימור פני השטח:Ra <0.2μm כדי למזער את יצירת החלקיקים בחדרי נקיון מסוג ISO Class 1.

2.הנדסת תהליכים קניינית

המהנדסים שלנו פיתחובקרות תהליכים בלולאה סגורהאשר מסתגלים לשבירות הקרמיקה במהלך העיבוד השבבי. על ידי שילוב טכניקות כרסום יבש עם ריסון רעידות בזמן אמת, אנו משיגים משטחים ללא סדקים ותוחלת חיים ארוכה יותר של רכיבים - אפילו תחת מחזורי תרמית קיצוניים (עד 1,600 מעלות צלזיוס).

זרקור על חדשנות:

•פרוטוקולים להפגת מתחים:מזעור שברים מיקרוסקופיים במבודדי AlN עבור יישומי CVD.
•טיפולים לאחר עיבוד שבבי:HIP (כבישה איזוסטטית חמה) משפרת את הצפיפות ואת העמידות בפני קורוזיה.

3.אבטחת איכות קפדנית

כל מבודד עוברבדיקה בת 12 שלבים, כולל:

•CMM (מכונת מדידת קואורדינטות)אימות של ממדים קריטיים.
•בדיקת דליפות הליוםלצורך תאימות עם ואקום.
•EDS (ספקטרוסקופיית קרני רנטגן פיזור אנרגיה)כדי לוודא את טוהר החומר.

שֶׁלָנוּמערכת מוסמכת ISO 9001/14001מבטיח עקיבות החל מרכישת חומרי גלם (ממקורות מספקים Tier 1 כמו CoorsTek) ועד לאריזה הסופית.

יישומים: היכן שדיוק פוגש ביצועים

המבודדים שלנו אמינים בתחומים הבאים:

•כלי איכול והשקעה:רכיבים מצופים SiC לעמידות בפלזמה במודולים של Applied Materials™.
•שתלי יונים:פיני הרמה מאלומינה עם ציפויים אנטי-סטטיים למניעת החלקה של פרוסות סיליקון.
•מערכות מטרולוגיה:מבודדים בעלי התפשטות תרמית נמוכה עבור שלבי ליתוגרפיה של EUV.

מקרה בוחן:יצרן ציוד מקורי מוביל של מוליכים למחצה צמצם את זמן ההשבתה של כלים ב-40% לאחר שעבר לראשי מקלחת SiC שעוצבו בהתאמה אישית, אשר עלו על ביצועי החלקים של המתחרים בעיבוד פרוסות 300 מ"מ.

מעבר לייצור: גישת שותפות

•אב טיפוס מהיר:שלחו את קבצי ה-CAD שלכם וקבלו אבות טיפוס פונקציונליים תוך 7 ימים.
•אריזת חדר נקי באתר:הרכבה אופציונלית של חדר נקי Class 10 לשילוב ישיר של כלים.
•תמיכה טכנית לכל החיים:המהנדסים שלנו מספקים שירותי ניתוח בלאי ועיבוד מחדש כדי להאריך את מחזור חיי הרכיבים.